Б. З. . Нуриддинов, К. Т. . Довранов, and А. К. . Ташатов, “ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОПЛЕНКИ SiO2 НА ПОВЕРХНОСТИ Si ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ”, CAJMTCS, vol. 4, no. 2, pp. 50–55, Feb. 2023.